QUANTUM-S系列是為半導(dǎo)體行業(yè)設(shè)計(jì)和制造的全新解決方案。

該泵由機(jī)械加工的超純PTFE制成，隔膜和球由改性PTFE制成。

這種配置不僅具有高耐化學(xué)性和機(jī)械強(qiáng)度，還確保了高達(dá)120°C的超純安全泵送。

QUANTUM-S系列是為安裝在半導(dǎo)體行業(yè)以實(shí)現(xiàn)安全和超純操作而設(shè)計(jì)的。設(shè)計(jì)和使用的材料允許供應(yīng)不同的化學(xué)品，具有可靠性、效率和精度。

對(duì)于純度、精度和安全性是關(guān)鍵詞的新興行業(yè)來說，這種泵是非常需要的。

性能特點(diǎn)

1“-highest 85 l/min

半導(dǎo)體工業(yè)的先進(jìn)安全設(shè)計(jì)

令人難以置信的低脈動(dòng)效應(yīng)

改性PTFE膜片

5件式空氣分配系統(tǒng)

沒有金屬部件與液體接觸

超清潔組裝、測(cè)試和包裝（可選）

易于安裝和維護(hù)

現(xiàn)場(chǎng)培訓(xùn)和VR/AR協(xié)助（可選）

用于高純度應(yīng)用

技術(shù)參數(shù)

型號(hào)：DQS 100

流體入口：G 1“BSP

進(jìn)氣口：G3/8“BSP

max流量：851/min

max工作壓力：2-7巴

輸送頭：70 mca

max吸程干燥：4 mca

max吸程濕：9 mca

max固體尺寸：5 mm

噪聲：80 dB（A）

重量：23公斤

產(chǎn)地：意大利

自吸式，淹沒或浸沒安裝

0…680升/分鐘流量

法蘭或2英寸BSPF連接端口

聚丙烯和PVDF濕結(jié)構(gòu)

熱塑性橡膠（山都平）與PTFE膜片

安裝簡(jiǎn)便，可調(diào)流量

可以干燥運(yùn)行

氣動(dòng)操作，不需要電動(dòng)執(zhí)行器

失速免氣動(dòng)回路

PDM或氟橡膠O形圈

FDA版本拋光SS316可用

ATEX版本可用于25R，38R和50R所有型號(hào)-要為ZONE1配置泵，腔室材料后添加X（例如WR成為WRX）